Aixtron AG: AIXTRON OVPD(R)-Technologie von führendem OLED-Hersteller RiTdisplay Corp. qualifiziert; Technischer Durchbruch für zukünftige Massenproduktion von organischen Leuchtdioden (OLEDs)

Nach Einschätzung des Unternehmens ist die Qualifizierung derAIXTRON Gen2- Produktionsanlage ein technischer Durchbruch für dieOVPD(R)-Technologie, da diese möglicherweise die herkömmlichenOLED-Herstellungsverfahren wie z. B. Vacuum Thermal Evaporation (VTE)ersetzen wird.

Die Engineering-Teams von RiTdisplay und AIXTRON konnten dieOVPD(R)- Technologie gemeinsam für die Produktion vonOLED-Bauelementen für Farbdisplay-Anwendungen qualifizieren. Diewährend des Beta-Test hergestellten OLED-Bauelemente zeigten bessereLeistungscharakteristika als jene Displays, die mit herkömmlicherTechnologie (VTE) hergestellt wurden.

OVPD(R) basiert auf dem Prinzip des Gasphasentransportes und derpatentgeschützten Close Coupled Showerhead (CCS)-Technologie vonAIXTRON und hat gegenüber der herkömmlichen Vacuum Thermal Evaporation(VTE)-Technologie wesentliche Vorteile: die präzise Kontrolle vonAbscheidungsraten, eine dauerhafte Prozessstabilität undreproduzierbarkeit, ein hoher Durchsatz aufgrund hoherAbscheidungsraten, eine hohe Ausbeute aufgrund einer hervorragendenHomogenität, niedrige Wartungs- und Betriebskosten aufgrund eineräußerst effizienten Materialausnutzung etc. Darüber hinaus ermöglichtder Gasphasenprozess die Realisierung weiter entwickelterBauelementstrukturen wie z.B. Schichten mit Konzentrationsgradienten.

Die OVPD(R)-Technologie wurde exklusiv von Universal DisplayCorporation (UDC), Ewing, N.J./USA, an AIXTRON zum Bau von Anlagenlizensiert. Sie basiert auf einer Erfindung von Professor Stephen R.Forrest et. al. an der Princeton University, USA, die wiederrumexklusiv an UDC lizenziert wurde. AIXTRON und UDC haben gemeinsameinen OVPD(R)-Prototypen zur OLED-Herstellung entwickelt undqualifiziert.
AIXTRON AG
Kackertstr. 15-17
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Deutschland

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