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Zur Herstellung von Sensoren

17.11.2020 16:27:00

JENOPTIK baut Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage in Dresden

Der JENOPTIK-Konzern baut in Dresden eine Anlage zur Herstellung von Sensoren für die Halbleiterausrüstungsindustrie.

Die Elektronenstrahl-Lithografie-Anlage solle Mitte 2022 in Betrieb genommen werden, teilte JENOPTIK am Dienstag in Jena mit. Es werde ein zweistelliger Millionenbetrag investiert, hieß es. Genaue Angaben wurden dazu nicht gemacht. Die Fertigungsanlage werde ein Kernelement bei der Entwicklung und Produktion anspruchsvollster Präzisionssensoren bilden.

/jab/DP/fba

JENA (dpa-AFX)

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